AST光谱反射薄膜测厚仪SR100

产品简介：

·         基于视窗结构的软件，很容易操作

·         先进的深紫外光学及坚固耐用的抗震设计，以确保系统能发挥出最佳的性能及最长的正常运行时间

·         基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量

·         低价格，便携式及灵巧的操作台面设计

·         在很小的尺寸范围内，最多可测量多达5层的薄膜厚度及折射率

·         在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数

·         能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率

·         系统配备大量的光学常数数据及数据库

·         对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析

·         系统集合了可视化、光谱测量、仿真、薄膜厚度测量等功能于一体

·         能够应用于不同类型、不同厚度(最厚可测200mm)的基片测量

·         使用深紫外光测量的薄膜厚度最低可至20 Ǻ

·         2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面

·         先进的成像软件可用于诸如角度、距离、面积、粒子计数等尺寸测量

·         各种不同的选配件可满足客户各种特殊的应用

系统配置：

·          型号：MSP100RTM

·         探测器：2048像素的CCD阵列

·         光源：高功率的深紫外－可见光光源

·         光传送方式：光纤 

·         自动的台架平台：特殊处理的铝合金操作平台，能够在5”×3”的距离上移动，并且有着1μm的分辨率，程序控制

·         物镜有着长焦点距离:4×，10×，15×(DUV)，50×

·         通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连

·         测量类型：反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数

·         计算机硬件：英特儿酷睿2双核处理器，200G硬盘、DVD刻录机，19”LCD显示器

·         电源：110–240V AC/50-60Hz，3A

·         尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面设置)

·         重量：120磅总重

·         保修：一年的整机及零备件保修